零件表面的殘留顆粒物污染物會(huì)對(duì)零件的使用壽命造成影響，因此在精密制造領(lǐng)域需要對(duì)零件表面的清潔度進(jìn)行分析檢測(cè)，從而確保產(chǎn)品的可靠性。以下是常見(jiàn)顆粒物分析方法的比較。

　　(1)篩分法。

　　優(yōu)點(diǎn)：簡(jiǎn)單、直觀、設(shè)備造價(jià)低，常用于大于40um的樣品。

　　缺點(diǎn)：結(jié)果受人為因素和篩孔變形影響較大。

　　(2)顆粒物圖像分析法。

　　優(yōu)點(diǎn)：簡(jiǎn)單、直觀，可進(jìn)行形貌分析，適合分布窄(最大和最小粒徑的比值小于10：1)的樣品。

　　缺點(diǎn)：代表性差，分析分布范圍寬的樣品比較麻煩，無(wú)法分析小于1um的樣品。

德國(guó)安捷萊清潔度檢測(cè)儀可用于ISO 16232 以及VDA-19的清潔度檢測(cè)。

　　(3)沉降法(包括重力沉降和李新沉降)。

　　優(yōu)點(diǎn)：操作漸變，儀器可以連續(xù)運(yùn)行，價(jià)格低，準(zhǔn)確性和重復(fù)性較好，測(cè)試范圍較廣。

　　缺點(diǎn)：測(cè)試時(shí)間較長(zhǎng)，操作比較繁瑣。

　　(4)電阻法。

　　優(yōu)點(diǎn)：操作漸變可測(cè)顆粒數(shù)，等效概念明確，速度快，準(zhǔn)確性好。

　　缺點(diǎn)：不適合測(cè)量小于0.1um的顆粒樣品，對(duì)粒度分布寬的樣品更換小孔管比較麻煩。

　　(5)激光法。優(yōu)點(diǎn)：操作簡(jiǎn)便，測(cè)試速度快，測(cè)試范圍廣，重復(fù)性和準(zhǔn)確性好，可進(jìn)行在線測(cè)量和干法測(cè)量。缺點(diǎn)：結(jié)果受分布模型影響較大，儀器造價(jià)較高，分辨力低。

　　(6)電子顯微鏡法。

　　優(yōu)點(diǎn)：適合測(cè)試超新顆粒甚至納米顆粒，分辨力高，可進(jìn)行形貌和結(jié)構(gòu)分析。

　　缺點(diǎn)：樣品少，代表性差，測(cè)量易受人為因素影響，儀器價(jià)格昂貴。

　　(7)光阻法。

　　優(yōu)點(diǎn)：測(cè)試便捷快速，可測(cè)液體或氣體中顆粒數(shù)，分辨力高。

　　缺點(diǎn)：不適用粒徑小于1umde樣品，進(jìn)行系統(tǒng)比較講究，僅適合對(duì)塵埃、污染物或已稀釋好的藥物進(jìn)行測(cè)量，對(duì)一般粉體用的不多。

　　(8)透氣法。

　　優(yōu)點(diǎn)：儀器價(jià)格低。不用對(duì)樣品進(jìn)行分散，可測(cè)測(cè)性材料粉體。

　　缺點(diǎn)：只能得到平均粒度值，不能測(cè)粒度分布;不能測(cè)小于5um細(xì)粉。